半導體尖端怎量測？　工研院下半年設新創公司與國際接軌

工研院量測技術發展中心邁入35年！工研院日前舉辦「量測35週年慶」，分享創新量測技術研發、建立量測標準與檢驗證服務等重要成果。未來將以精準量測扶植新創公司，下半年也規劃成立以半導體尖端量測技術之新創公司，使國內半導體產業符合國際標準。

工研院表示，度量衡是民生、社會、科技以及國際貿易發展的重要基礎，工研院執行國家度量衡標準實驗室，持續從「國際計量標準」、「推動產業化」與「協助能源測試驗證」三方面為產業提供創新量測服務，不僅建立下世代半導體建立前瞻量測技術，同時，也協助臺灣太陽能產業標準檢驗證與新產品開發。

工研院副院長彭裕民指出，1987年工研院受經濟部委託執行國內最高量測標準之「國家度量衡標準實驗室」，工研院並推進設立「量測技術發展中心」，除了為國內度量衡標準把關之外，35年來致力於新技術研發之量測標準檢驗證，成為臺灣產業成長、國際交流最堅實的後盾。

彭裕民表示，因應產業的快速發展，工研院透過深厚的量測實力，率先開發前瞻性技術檢測，建立工業量產良率監控的關鍵工具，協助國內半導體大廠轉型升級。近年全球面臨極端氣候挑戰，工研院以科學為基礎，研發綠色計量標準創新技術更是絕無旁貸，期許在淨零碳排的全球趨勢下，提供臺灣產業全面的檢驗證與標準定訂，協助產業實現低碳綠色轉型。

工研院量測中心執行長林增耀表示，過去35年感謝歷屆量測中心的主管帶領下，致力於建立與維持國家計量標準、發展量測技術產業應用、開發精密檢測儀器與設備、執行醫療器材驗證、以及能源與環境相關量測的研究與發展，也成功彰顯在「國際計量標準」、「推動產業化」、「協助能源測試驗證」三項領域的創新研發能量。

林增耀表示，在「國際計量標準」中，隨著國際基本單位的重新定義，工研院於2018年投入矽晶球法之相關技術建置，以精準實現由普朗克常數所定義之公斤，確保國家最高量測標準及自主追溯。

在「推動產業化」部分，致力半導體前段製程突破與異質整合的市場需求，例如：「GAA製程X光量測技術」滿足半導體前段製程奈米尺寸三維的複雜需求，率先布局下世代半導體關鍵技術，此技術更於下半年預計成立的半導體尖端量測公司，可望成為產業在國際市場競爭的重要助力。

在「能源測試驗證」中，太陽光電計量實驗室取得國際IECEE CBTL實驗室認證資格，依據國際標準發展趨勢，協助國內廠商進行品質改善與新產品開發，並於2021年打造全臺唯一行動式太陽光電測試車，協助臺灣在全球再生能源市場上更具競爭力。